日本厂家 COSMOS 新宇宙 测量仪 PS-8N/PS-8M 超大液晶显示屏

特征

半导体工厂气体检测装置

采用「Cosmos方法*」更换校准感测器单元

我们独特的热线半导体型氢化物感测器（即将发布）可延长使用寿命

可视性极佳的大型液晶显示屏，一目了然地了解现场情况

兼容PoE，减少布线，与PLC无缝连接

正面接入使感测器更换变得容易

使用子/扩展单元，您可以根据使用的气体类型和数量组合感测器。

*什么是宇宙仪式？

此方法始于1997年，无需现场气体校准，并透过回收感测器尽可能降低运行成本。

目的

用于检测半导体工厂中半导体材料气体的泄漏

◆便携式（Cosmos型）半导体材料气体侦测装置为XPS-7II

◆便携式半导体材料气体侦测仪XP-703DIII

规格

模型主机：PS-8N、PS-8M

子单元：PS-8S

兼容感测器原理恒电位电解式、热线半导体式、隔膜原电池式

取样方式泵浦吸入式（约0.5L/min±20%吸入流量自动控制）

待检测气体取决于规格

检测范围取决于规格

展示单色液晶全点阵显示气体浓度：5位数字显示（带单位）

其他：气体名称显示、流量状态显示、警报（第1阶段、第2阶段）状态显示、故障显示*PS-8S不具备。显示在主机上

警报设定值取决于规格

警报准确度・可燃气体：相同条件下警报设定值的±25%

・有毒气体：相同条件下警报设定值的±30%

・缺氧：相同条件下±1vol%

警报延迟・可燃气体：在30秒内产生警报设定值1.6倍的气体・有毒气体：在60秒内产生警报设定值1.6倍的气体・缺氧：浓度10 vol%时达到18 vol% 5以内秒（20±2℃）（不包括上述所有气体的管路长度和通信时间）

警报显示・气体警报第1阶段：警报1 LED（红色）闪烁、液晶画面：显示ALARM1・气体警报第2阶段：警报2 LED（红色）闪烁、液晶画面：显示ALARM2

外部输出[数位信号*1]

・PS-8M：以太网络10BASE-T/100base-Tx（Modbus/TCP）

Modbus/TCP（最大连接设备数量取决于系统配置）

最大传输距离100m（可达HUB）

・PS-8N、PS-8S：无*PS-8N是使用扩充单元MR模块RS485（Modbus-RTU）时的情况

[气体浓度模拟信号*2]

・PS-8N、PS-8M:DC4-20mA（与电源负公共端）（输出精度：FS±0.5%以内）

*发生故障警报时为0.6mA以下*包括接线电阻在内，必须为300Ω以下[大宗气体警报接点（1级和2级）、整体故障警报触点*3]

每1a无电压接点/自动重设*额定负载AC125V 0.5A或DC30V 1.0A（阻性负载）

*独立接点输出需要扩充单元

防爆性能非防爆

使用温度和湿度范围0°C至40°C（无突变）、30至85%RH（无凝结）

使用电源・PS-8N:DC24V±10%

・PS-8M:DC24V±10%或PoE（以太网络供电、IEEE 802.3at）

・PS-8S：由主机提供

功耗*4 CDS-7:3.5W（最大5.2W）

CDS-7（催化转化型）：4.0W（最大5.9W）

COS-7:3.5W（最大5.2W）

CHS-7:4.0W（最大5.9W）

尺寸、质量・PS-8N、PS-8M:W70mm x H124mm x D172mm（不含突出部分），约850g（不含感测器）

・PS-8S:W70mm x H124mm x D172mm（不含突出部分），约770g（不含感测器单元）

*1只能使用以太网络或扩充单元Modbus-RTU。

*2主机的模拟输出是主机专用的。子单元上安装的感测器的模拟输出需要扩充单元（AO模块）。

由于扩充单元（AO模块）还可以从安装在主单元中的感测器输出模拟信号，因此可以进行多核心连接。

*3使用子单元安装两个或更多感测器并使用独立接点输出时，请使用扩充单元（DO模块）。

在这种情况下，安装在主单元中的感测器的单独输出将从扩充单元输出（主单元的接点将同时输出）。

*4如果同时使用模拟输出和数位输出，功耗将会增加。