日本进口 HORIBA 堀场 HD-960L 溶解氧计 半导体用面板
2024-12-03 16:59:35
admin
半导体用面板支架48/96系列
HD-960L
0-20mg/L
※低流量模型（排出药液时）
HD-960LR
0-20mg/L
※高流量模型（使药液循环时）
HF中DO监控/纯水中DO监控
HD-960L
是最适合WET过程中HF中溶解氧的浓度监视的低流量的溶解氧计。
对于从低浓度到高浓度的溶解氧浓度，始终搭载以最佳范围/分辨率测量对应的范围切换功能，对应每个过程的最佳测量要求。
特征
自动切换范围
自动切换从ug/L等级到mg/L等级的3个测量范围，使最佳分辨率测量成为可能。
规格
| 模型 | HD-960L | |
|---|---|---|
| 测量范围 重复性 | 测量范围 | 重复性 |
| 0.0～200.0微克/升 | +/-1%FS | |
| 200 - 2000微克/升 | +/-1%FS | |
| 2.00 - 20.00毫克/升 | +/-1%FS | |
| 供应样水条件 | 压力 | 0-0.1MPa |
| 流量 | 15 - 200 毫升/分钟。* | |
| 温度（温度补偿范围） | 10 - 45℃ | |
| 样品中的 HF 浓度 | 0 - 5000ppm | |
| 变速输出 | 4-20mA，4点 | |
| 接点输出 | 4分 | |
| 电源规格 | DC24V+/-10%15W | |
| 联合传感器单元 | DO-100 | |
| 联合传感器 | 5600 | |
| 采样管线管径 | Φ1/4英寸（PFA管延长件） | |
*测量结束后，应将样液连接至排放管并丢弃。