日本爱发科 油回转真空泵 ULVAC VS 系列 VS300A-W
VS300A-W是旋片式(单级)的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积最小,可直接搭载机械增压泵。另外,内置了油雾过滤器和回油装置,排气性能长期稳定。此外,设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。 特点 同类产品中占地面积最小 □874×404mm 设计紧凑。 可直连机械增压泵(MBP) 使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。 内置油雾过滤器 回油装置亦内置。 不易向外部漏油的构造 油封和轴封两级密封,防止向外部漏油。 用途 光学膜蒸镀设备 反射器蒸镀设备 装饰用蒸镀设备 薄膜卷绕蒸镀设备 内嵌溅射设备 烘烤炉 /热处理炉 冻干设备 检漏设备