日本爱发科 油回转真空泵 ULVAC VS 系列 VS300A-W

VS300A-W是旋片式(单级)的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积最小,可直接搭载机械增压泵。另外,内置了油雾过滤器和回油装置,排气性能长期稳定。此外,设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。 特点 同类产品中占地面积最小 □874×404mm 设计紧凑。 可直连机械增压泵(MBP) 使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。 内置油雾过滤器 回油装置亦内置。 不易向外部漏油的构造 油封和轴封两级密封,防止向外部漏油。 用途 光学膜蒸镀设备 反射器蒸镀设备 装饰用蒸镀设备 薄膜卷绕蒸镀设备 内嵌溅射设备 烘烤炉 /热处理炉 冻干设备 检漏设备

VS300A-W是旋片式(单级)的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积最小,可直接搭载机械增压泵。另外,内置了油雾过滤器和回油装置,排气性能长期稳定。此外,设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。

特点

  • 同类产品中占地面积最小
    □874×404mm 设计紧凑。

  • 可直连机械增压泵(MBP)
    使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。

  • 内置油雾过滤器
    回油装置亦内置。

  • 不易向外部漏油的构造
    油封和轴封两级密封,防止向外部漏油。

用途

  • 光学膜蒸镀设备

  • 反射器蒸镀设备

  • 装饰用蒸镀设备

  • 薄膜卷绕蒸镀设备

  • 内嵌溅射设备

  • 烘烤炉 /热处理炉

  • 冻干设备

  • 检漏设备

规格

型号VS300A-W
设计排气速度50Hzm3 / hr
( L/min )
250 (4,166)
60Hz300 (5,000)
极限压力*1GP关Pa≦15
GP开≦200
功耗(极限压力时)50HzkW2.8
60Hz3.1
电机型号全封闭风冷 三相感应电机
容量kW (Poles)7.5(4)
电压50HzV200~240 / 380~415
60Hz200~240 / 380~460
噪音值*2(极限压力时)50HzdB70
60Hz74
使用油ULVOIL R-72
所需油量L10~15
冷却方式水冷
冷却水初压MPaG≦0.3
出入口压差≧0.1
冷却水量L/min≧3.0
冷却水温度5~30
冷却水Δt≦25
吸气口法兰DN 63 ISO-F
排气口法兰G2
重量kg270
外观尺寸 W×D×Hmm404×871×585
海外安全标准CE、 cTUVus

注意:本资料采用SI测量单位。
*1 到达极限压力(GP关)后会进行慢泄。关闭慢泄阀,真空度≦8Pa。
*2 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。


排气速度曲线

  • VS300A-W
    VS300A-W_curve.png

  • VS300A-W+PMB1200D
    VS300A-W_PMB1200D_curve.png



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