日本一手价格 COSMOS 新宇宙 气体检测仪 XP-703DIII 检测半导体材料气体的微小气体泄漏
2024-09-10 10:30:04
admin

半导体材料气体检测仪
XP-703DIII
特征
检测半导体材料气体的微小气体泄漏。
警报声(断续声)的快慢随着气体浓度的变化而逐渐变化,当浓度达到较高水平时,发出连续的声音,便于辨识气体泄漏的位置。
一台装置可处理各种半导体材料气体(胂、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气等)。
比传统产品更小、更轻。机身小巧,可轻松握在手中。
配备液晶显示屏,可轻松查看设备的状态,例如电池电量和泵浦状态。
正面、底部两处设有警报灯,工作时轻松了解警报状况。
相当于防护等级IP22(JIS C 0920)*。*配备皮套时
符合CE标准
规格
模型:XP-703DIII
待检测气体:半导体材料气体(砷化氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)
气体采样方式:自动吸风式
检测原理:热线式半导体式
胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢
可检测泄漏量:
2.53×10 -7Pa·m3 /s 、1.52×10 -7Pa·m3 /s 、1.01×10 -7Pa·m3 /s 、2.53×10 -7Pa·m3 /s 、5.07×10 -7Pa· m3 /s
可检测浓度:0.5ppm、0.3ppm、0.2ppm、0.5ppm、1.0ppm
响应时间:10秒内(浓度为可侦测浓度三倍的气体的灵敏度设定[4])
显示方式:间歇性声音和闪烁警报灯
电源:2颗AA碱性电池
连续使用时间*1:约12小时(AA碱性电池)[常温常湿下]
防护等级*2:相当于IP22
工作温度限制:0℃~+40℃85%RH以下(无凝血)
外形尺寸:W38×H130×D32mm(不含突出部)
重量:约190公克(含电池和皮套)
标准配件:皮套、排水过滤器、更换滤芯、配件、检查气体、手带、2颗AA碱性电池等。
*1根据环境条件、使用条件、电池制造商等的不同,可能会有所不同。
*2配备皮套时。
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