ULVAC 爱发科 干泵 GR60A GR90A 高吞吐量
2025-12-29 11:55:43
admin
干泵
GR60A
GR90A
GR180A
规格
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | ||||||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||