ULVAC 爱发科 UNECS-2000A 椭偏仪 日本
2026-01-10 15:45:04
admin
椭偏仪
UNECS-1500A
UNECS-2000A
UNECS-3000A
规格
| 型号 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | |||
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |||
| 入射角度 | 70°固定 | |||
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |||
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | |||
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |||
| 平台 | Φ150mm自动 | Φ200mm自动 | Φ300mm自动 | |
| 自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |||
| 机器构成 | 测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |||