ULVAC 爱发科 RGM2-201F 监测仪 厂家日本
2026-01-10 15:42:12
admin
分析仪
RGM2-201F
规格
传感器
质量数范围 (amu) 1~200
分辨率 (M/ΔM) M/ΔM=1M(10%P.H.)
探测器 法拉第杯 (FC)
灵敏度 (A/Pa) *1 1e-5A/Pa (孔口直接引入，Ie=50uA)
Ee50V时，N2气体=5e-4Pa
最小检测分压 (Pa) *1 e-10Pa台(EE50V, Ie500uA时)
全压测定功能 *1 有
全压测定范围 *1 1e-3~e-6 Pa台
离子源 带磁铁的Closed Ion Source
灯丝 Ir/Y2O32支 (其中1支为备用)
电离电压 (EE;eV) 20~70eV (Ie50uA时建议使用50V设置)
发射电流 (IE;uA) 50uA/500uA (流程测量建议使用EE50V、50uA)
*1 备用灯丝 (FIL2) 不适用