日本走空运 ULVAC 爱发科 UNECS-1M 椭偏仪
2026-01-10 15:46:46
admin
椭偏仪
UNECS-1M
规格
波长范围 530～750nm、380～760nm（选择）
点径 Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度 70°固定
膜厚再现性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围 1nｍ～2μｍ
测量时间 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms
机器构成 测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD）
＊控制PC不含在标准中