进口 ULVAC 爱发科 角阀 VLPーMB160CH
2026-01-10 16:01:01
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角阀
VLPーMB016CH
VLPーMB040CH
VLPーMB063CH
VLPーMB100CH
VLPーMB160CH
规格
型号 VLP-MB
阀板容许最大差压(正压/逆压)MPa 0.10
开阀时允许最大压差(正压/逆压)MPa 0.10
阀板密封方式 〇戒指
轴密封方式 波纹管
驱动方式 双动气缸
泄漏量(外部)*1Pam3/s ≦1.0E-10
泄漏量(内部)*1Pam3/s ≦1.0E-10
使用压力范围(绝对压力)Pa 大气压~1.0E-8
允许烘烤温度(静止时)*2℃ 主机:150*3,驱动部:70(传感器:60)
工作环境温度℃ 5~70(传感器:5-60)
使用流体温度℃ 5~70
加热及冷却速度℃/h ≦30
使用环境 非腐蚀性气氛
使用流体 非腐蚀性流体
气缸供给压力空压力MPaG 0.40~0.60
保修动作次数*4 10,000
运行姿势 自由
开关传感器 可选(另售)
真空侧主要部件材质 SUS304
大气侧主要部件材质 SUS304,AL-6061(铝酸盐)
波纹管材质 SUS316L
密封部件材质(真空侧) 外部密封:金属
内部密封:FKM
油脂类(真空侧) 无润滑油