渠道日本 ULVAC 爱发科 EGO-40M 基板台
2026-01-10 15:57:21
admin
基板台
EGO-1G
EGO-40M
仕様
| Model | EGO-1G | EGO-40M | |
| ビーム偏向角 | 270° | ||
| るつぼ数 | 0 | 4 | |
| るつぼ容量 | - | 10cc ×2 / 40cc ×2 | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | - | 32Φ×24Φ×15H （mm）/50Φ×41Φ×25H （mm） | |
| 冷却水量 | ハース | - | 10L/min以上 |
| その他 | 2L/min | - | |
| 外形寸法 W×D×H(突起物を含まない) | 166×285×174 (mm) | 170×309×174 (mm) | |
| 質量 | 約12.5kg | 約18kg | |
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 1.0A | 0.6A/1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||