SIMCO思美高 离子发生器 Model 5635 AeroBar MP
2026-03-18 18:11:11
admin
扩展ISO Class1,10nm兼容棒型
离子发生器
Model 5635 AeroBar MP
特性
■在世界范围内拥有无与伦比的采用实绩的单晶硅电极与超低粒子特性一起避免电极材料引起的金属污染风险
■通过独自的MP（脉冲调制）方式，有效地将离子运送到目标的高除电性能
■100mm距离也可以使用的小电位摆动特性及杆长偏差小的离子平衡
■通过智能控制电路始终自动管理离子产生状态和离子平衡
■1/4旋转可装卸的交换式电极有助于减少维护工时
■电位摆动非常小的MP方式的特征，便于设置，电位摆动的大小也有效地对将长期离子平衡保持在管理基准内起作用
■设置符合半导体前工序用EFEM长度的条
■24V DC驱动控制器内脏的紧凑设计
■在世界范围内可以使用高水平的支持网络
规格
Model 5635 AeroBar MP
输入电压24V DC+/-10%
输出电压最大可调整约13.5kvp-p
安装距离100mm～1000mm（无空气净化）
离子产生方式电晕放电方式
MP（脉冲调制）方式调制频率1～33Hz
离子平衡自动平衡调整方式
<+/-10V内杆正下方位置的差异<+/-10v
（600mm距离）
可更换电极单晶硅电极
净化气体净化干燥室或N2
最大净化压力310Kpa
臭氧量<0.05ppm（24小时累计值）
信号输出警报IO开路集电极输出
尺寸高度78mmx深度34mmx长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/1900/2050/2200/2350mm
外包装ABS树脂