日本SIMCO思美高 离子发生器 MODEL 4214 单晶硅电极
2026-03-23 17:04:41
admin
扩展ISO Class1,10nm兼容内嵌N2离子发生器
MODEL 4214
特性
■采用超低粒子对应的单晶硅电极。
■通过不向外部发射粒子的独特清洁机构，长期确保稳定的清洁度
■采用完全不需要调整的智能控制电路
■通过内脏传感器经常监测离子产生，实现可靠的除电
■控制器、内置电源的一体型紧凑设计
■低流量时自动高电压关闭功能保护产品
■最适合尖端半导体制造工序等超低粒子用途
■24V DC驱动
规格
| 输入电压 | 24V 直流+/-5% 6W 典型。 |
|---|---|
| 离子平衡 | <+/-25V 150mm 距离 40LPM 无配管连接 |
| 除电时间 | <10秒 150毫米 距离 40升每分钟 无管道连接 +/-1千伏 → +/- 100伏 带电板监测器实现 |
| 离子发生方式 | 电晕放电式 高频AC方式 |
| 清洁度 | ISO Class1,0.1微米 "扩展ISO Class1,10nm"* |
| 电极 | 单晶硅 可更换 |
| 对应净化气体 | N2 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa) |
| 最大冲洗压力 | 207Kpa(=100LPM流量) |
| 最大燃气温度 | 60摄氏度 |
| N2吹扫连接 | Swagelok3/8" OD 配管 |
| 离子化N2连接 | 1/4NPT母螺纹连接器或选配接头 28-25710-SC处Swagelok 1/2"OD管道连接 |
| 使用温度范围 | 15～60摄氏度 |
| 信号输出 | Open/Close接点用于报警及离子降低输出 |
| 寸法 | 长度152.4毫米 x 宽度72.4毫米 x 深度32毫米 不包括管道部分 |
| 重量 | 640克 |
| 外装 | 不锈钢 |
| 安装方法 | 背面 M5 螺钉 螺钉长度小于 10mm |