ANELVA佳能 951-7145 阀门 951-7120
2026-09-05 16:36:28
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超高真空L型聚酰亚胺阀门
951-7145 9
51-7120
本阀门是可用于10-8 Pa级超高真空领域的L型阀门。
真空密封采用了耐热温度高且气体释放量少的聚酰亚胺树脂。适合用于需要150℃以上烘烤的超高真空装置。
特点
优异的耐热性
聚酰亚胺密封件无论开合，均可耐受从室温至最高300 ℃的反复烘烤
气体释放量少的密封材料
聚酰亚胺树脂的气体释放量与氟橡胶（Viton）相比较少，因此10-8 Pa左右的超高真空易于实现
较小的紧固扭矩
聚酰亚胺密封件的紧固扭矩不需要像金属密封件那样大的扭矩
超高真空L型聚酰亚胺阀门（型号：951-7145／951-7120）
| 型号 | 951-7145 | 951-7120 |
|---|---|---|
| 使用真空领域 | 大气压～10-8 Pa程度 | |
| 允许加热温度※1、2 | 300 ℃ | 300 ℃ |
| 密封材料 （垫片） | 聚酰亚胺树脂 | 聚酰亚胺树脂※4 |
| 推荐紧固力 （参考紧固扭矩※5） | 1225 ～ 1921 N（2～3.4 N・m） | 3920 ～ 4900 N（4.9 ～ 5.9 N・m） |
| 最大紧固力 （参考紧固扭矩※5） | 2626 N（5.9 N·m） | 7840 N（14.7 N・m） |
| 操作 | 手动 | 进行了几次烘焙 使用卡尼梅斯帕纳 |
| 电导 | 1 L/s | 30 L/s |
| 泄漏量※3 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 |
| 外形尺寸 | 参考外形尺寸图 | |
| 使用材料 | 本体：SUS-304 波纹管：SUS-304L 手柄：AL合金（黑色阳极氧化） | 本体：SUS-304 波纹管：SUS-304L 手柄：AL合金（黑色阳极氧化） |
| 连接法兰 | φ34ICF法兰 | φ70ICF法兰 |
| 质量 | 0.41 kg | 1.6 公斤 |
| 附件 | － | 卡尼梅斯帕纳、六角棒扳手 |
※1. 此数值是在阀门内部用真空或Ar等惰性气体置换后的状态下测得的。
※2. 若进行连续加热，则温度为260℃。
※3. 聚酰亚胺树脂的透气性不在规格范围内。
※4. 针对蒙皮密封部的金属密封（SUS321银镀“O”型圈）化，我们可提供咨询服务。
※5. 紧固扭矩因烘烤等操作导致驱动螺钉的摩擦系数增加，从而改变了紧固扭矩与紧固密封力的关系，故此为参考值。