走空运 ULVAC 爱发科 EGK-3M 基板台
2026-01-10 15:58:27
admin
基板台
EGK-3
EGK-3M
仕様
| Model | EGK-3 | EGK-3M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 225° | ||
| るつぼ数 | 1 | 4 | |
| るつぼ容量 | 2.6cc | 2.9cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | 21Φ×15.6Φ×10H（mm） | 21Φ×17.5Φ×10H（mm） | |
| 冷却水量 | ハース | 8L/min以上 | |
| その他 | 1L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 110×207×126（mm） | 140×207×126（mm） | |
| 質量 | 約4kg | 約5kg | |
| 蒸着速度 | 0.5μm/min以上 （Al/5kW/ハース直上250H） | 0.6μm/min以上 （Al/5kW/ハース直上250H） | |
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.5A | ||
| 適用電源 | HPS-510S | ||