源头报价 ULVAC 爱发科 EGN-406M 基板台
2026-01-10 15:58:57
admin
基板台
EGN-206M
EGN-406M
仕様
| Model | EGN-206M | EGN-406M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | ||
| るつぼ数 | 6 | ||
| るつぼ容量 | 20cc | 40cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | Φ42×Φ32×19(mm) | Φ50×Φ41×25(mm) | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min以上 | |
| その他 | 2L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 214×343×144（mm） | ||
| 質量 | 28kg以下 | ||
| 蒸着速度 | 1.6μm/min （リボンビーム/Al/8kW/40ccるつぼ/ハース直上250H） | ||
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.8A | 1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||