ANELVA佳能 M-370CG-RS 电离真空计 M-370CG-SP
2026-09-01 16:15:09
admin
冷阴极电离真空计
M-370CG-SP
M-370CG-RS
不使用热丝，采用坚固的冷阴极电离真空计。
实现从高真空到超高真空的稳定压力测量。
特点
卓越的测量稳定性
减少因未放电导致的测量停止和压力显示值的波动
高真空下的良好机动性
消除未放电、放电延迟
简易维护
・维护仅限于更换零件
※在氢气、氧气等活性气体的分压较高或大量使用这些气体的环境中，CC气体检测仪的放电开始可能会显著延迟。
用途
从1 Pa到超高真空，广泛适用于各种真空测量。
蒸镀、溅射、离子注入、MBE
SEM、SIMS、AES、XPS、各种表面/气体/质谱分析
退火、熔化、焊锡、回流、固化、电子束焊接
加速器、回旋加速器
规格
| 型号 | 冷阴极计 | |
|---|---|---|
| M-370CG-SP 带设定值类型 | M-370CG-RS RS485类型 | |
| 压力测量范围 | 1×10-7 ～ 1×100 （Pa） | |
| 输入电压 | 直流+15 ～ 30 V | |
| 能耗 | 2.4 W | |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V | － |
| 设定点 | 2接点输出（DC30 V, 1 A） | |
| 接口 | － | RS485 |
| 输入输出连接器 | D-sub9针 | |
| 最大线缆长度 | 300 m（1 mm2）＊1 | |
| 使用温度范围 | 5 ～ 55 ℃ | |
| 保存温度范围 | -20 ～ 70 ℃（非工作时） | |
| 传感器型号 | CC1 | |
| 传感器材质（主要部分） | 电极：Mo、绝缘石：Al2O2、外壳：SUS304 | |
| 外形尺寸（mm） | 50(宽)×50(深)×110(长)（接头 NW25规格） | |
| 法兰形状 | NW25、NW40、φ70ICF | |
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 | |
＊1）连接M-601/603GC显示器时，仪表电缆的最大长度为100米。