ANELVA佳能 M-361CP-RS 真空计 M-361CP-SP
2026-09-01 16:16:45
admin
真空计
M-361CP-SP
M-361CP-RS
结合了用于测量大气压至中真空的Piran Gauge，以及用于测量高真空至超高真空的Cold Cathode Gauge的组合式压力计。一台设备即可测量宽广的压力范围。
一台设备实现双重功能，有助于降低系统成本并减轻管理负担。
卓越的测量稳定性
・减少Piranha与冷阴极的切换不良、未放电导致的测量停止以及压力显示值的波动
实现卓越的大气压检测
・本仪器搭载的皮拉尼计在大气压附近具有高稳定性和高重复性，响应速度与隔膜真空计相当
简易维护
・冷阴极的维护仅限于更换部件
※在氢气、氧气等活性气体的分压较高或大量使用这些气体的环境中，CC气体检测仪的放电开始可能会显著延迟。
用途
超高真空～大气压，广泛适用于各类真空测量
(例如)
电子学・光学：蒸镀、涂层、电子束掩模描绘、溅射、离子注入、MBE
分析：电子显微镜、SIMS、AES、XPS等，各类表面/气体/质谱分析
各类工业：退火、熔融、焊接、回流、固化、电子束焊接、冶金、分子蒸馏、气体充填
高能物理：加速器、回旋加速器
规格
| 型号 | 冷阴极皮拉尼计 | |
|---|---|---|
| M-361CP-SP 带设定值类型 | M-361CP-RS RS485类型 | |
| 压力测量范围 | 1×10-7 ～ 1×105 （Pa） | |
| 输入电压 | 直流+15 ～ 30 V | |
| 能耗 | 2.4 W | |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V | － |
| 设定点 | 2接点输出（DC30 V, 1 A） | |
| 接口 | － | RS485 |
| 输入输出连接器 | D-sub9针 | |
| 最大线缆长度 | 300 m（1 mm2）＊1 | |
| 使用温度范围 | 5 ～ 55 ℃ | |
| 保存温度范围 | -20 ～ 70 ℃（非工作时） | |
| 传感器型号 | CP2 | |
| 传感器材质（主要部分） | 丝材：W，电极：Mo，绝缘石：Al2O2、外壳：SUS304 | |
| 外形尺寸（mm） | 50(宽)×50(深)×110(长)（接头 NW25规格） | |
| 法兰形状 | NW25、NW40、φ70ICF | |
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 | |
＊1）连接M-601/603GC显示器时，仪表电缆的最大长度为100米。