ANELVA佳能 M-342DG-1N 真空计 M-342DG-1D
2026-09-01 16:18:45
admin
真空计
M-342DG-1D
M-342DG-1N
M-342DG-11
M-342DG-12
M-342DG-13
电容式压力计“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作为压力传感元件，最大限度地减少了温度、振动、气压变化等外部环境的影响，实现了高精度、稳定的压力测量，并最大限度地减少了零点调整的频率。
特点
高精度且稳定的压力测量
・卓越的零点稳定性
・温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现卓越的稳定性
・卓越的抗振噪声性能
紧凑型・低功耗
・重量200 g，尺寸W46 mm×H49 mm×L106 mm，轻巧紧凑（※1）
・功耗0.5 W
※1 重量与尺寸为接头NW16规格时
用途
广泛适用于真空中的高精度、长期稳定压力测量
半导体、显示器、太阳能电池等各类真空设备
・溅射、PECVD等真空成膜工艺的压力控制、监控
・载物室、晶圆冷却等气体引入工艺的系统压力管理
医疗、生物、食品等各类产业，以及各类研发用途
各类涂层、等离子处理、真空密封、真空炉、分析装置、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等
规格
| 型号 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| 全量程压力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 测量精度（读数百分比） | 0.20（在 23 ℃ 时） | ||||
| 零点温度系数（% of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| 温度系数（%读数/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 测量下限压力（满量程的百分比） | 0.01 | ||||
| 实用测量下限压力（满量程的百分比） | 0.05 | ||||
| 实用控制下限压力（满量程百分比） | 0.5 | ||||
| 响应速度（毫秒） | 100 | 30 | |||
| 加压上限 | 200 kPa（但NW16、NW25的内部不得为正压） *13.33 Pa规格为130 kPa | ||||
| 电源电压（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 功耗（W） | 0.5 | ||||
| 模拟输出（VDC） | 0～10 | ||||
| 使用温度/保管温度（℃） | 0～50/-20～70(非动作时) | ||||
| 最大线缆长度（米） | 100（专用线缆） | ||||
| 零点调整方法 | 推按钮，远程输入 | ||||
| 输入输出连接器 | D-sub9针（公） | ||||
| 接合部材质 | SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡胶 | ||||
| 法兰形状与质量 | NW16(200 ｇ)、NW25(210 ｇ)、8-VCR 母(250 ｇ)、φ70ICF(460 ｇ) | ||||
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 | ||||
| 安全保障贸易管理规定 | 不适用 | ||||
| 支持显示器 | M-601GC（1通道连接类型）、M-603GC（3通道连接类型） | ||||