ANELVA佳能 电离真空计 M-833HG
2026-09-01 16:25:29
admin
宽范围电离真空计
M-833HG
M-833HG是专为微型B-Aゲージ设计的控制单元。可选配支持多种ゲージ、数据输出等的扩展板。通过搭载微型B-Aゲージ与TCゲージ（可选）的组合，以及进行ゲージ自动切换的自动丝材装置，可实现从大气压至超高真空的高精度真空测量。非常适合搭载高真空至超高真空装置。
特点
凭借丰富的外部控制功能，可实现完全的远程操作。
标配2点设定点
最多可安装4个选项板，功能扩展性丰富
（注：GP-IB选项不支持）
符合CE标志、RoHS指令
用途
自动化真空装置的压力测量
溅射等工艺压力的测量、控制
多腔系统中的压力测量
一般真空装置的压力测量
规格
| 型号 | M-833HG | |
|---|---|---|
| 测量球 | 迷你比例尺MG-2系列 | |
| 压力表示范围 | 0.1×10-7 ～ 1.32×101 Pa ※1 | |
| 压力表示 | 测量范围自动切换 | |
| 设定点 | 2点标准装备（开放收集） | |
| D/A输出 | 0 ～ 10 V：尾数部输出、指数部输出 0 ～ 11 V：复合输出或Log输出 | |
| 模拟输出 （电位计输出） | APC模式设置时（0.1 ～ 2.5 V） 普通模式设置时（0.1 ～ 1.6 V） | |
| 外部控制功能 （远程操作） | 输入 | 丝印ON/OFF 脱气ON/OFF 等6种外部控制功能 |
| 输出 | 6种状态信号输出 | |
| 特殊功能 | APC支持：レンジ保持功能 电位计输出功能 | |
| 外形尺寸（mm）・质量 | 高99×宽209×深330、1.9 kg（未安装可选板时） | |
| 所需电力 | 100 ～ 240 VAC ※2 100 VA以下、50／60 Hz | |
| 发射电流 | 10 μA、100 μA、1 mA自动切换设置或固定设置 | |
| 排气 | 网格通电加热方式 | |
| 切换丝线 | 键及远程I/O操作 | |
| 丝材保护 | 超限设定值或发射电流±50%的波动 | |
| 标准配置 | 真空计本体（测量球及电缆不包含在内） | |
| 对应 | CE 标志、RoHS | |
※1 测量范围请参阅测量球MG-2的说明。
※2 M-833HG附带的AC电缆为100V规格。如需使用200V，请另行咨询。