ANELVA佳能 电离真空计 M-431HG
2026-09-01 16:26:32
admin
宽范围电离真空计
M-431HG
M-431HG是专为微型仪表设计的真空计控制电源。
特点
标准配备外部输入输出和RS-232C通信功能
输入电压为宽电压
符合CE标志、RoHS指令
用途
自动化真空装置的压力测量
溅射等工艺压力的测量、控制
多腔系统中的压力测量
一般真空装置的压力测量
规格
| 型号 | M-431HG | |
|---|---|---|
| 压力表示范围 | 0.01×10-7 ～ 13.2×100 Pa ※1 | |
| 压力表示 | 数字、测量范围自动切换 | |
| 设定点 | 2点标准配置（带迟滞） | |
| D/A输出 | 日志或复合输出切换（0 ～ 10 V） | |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V（APC兼容输出） | |
| 外部控制功能 （远程操作） | 输入 | 丝线ON/OFF、参数锁定、 丝线切换、脱气ON/OFF、范围保持 |
| 输出 | 设定点1、2、丝材ON/OFF状态 脱气状态、丝材1/2状态 | |
| 通信功能 | RS232C标准配置（9600、4800、2400、1200bps） | |
| 外形尺寸（mm）・质量 | 104W X 99H X 296D 1.2 Kg | |
| 能耗 | 50 VA AC90 ～ 240 V 50/60 Hz ※2 | |
| 发射电流 | 10 μA、100 μA、1 mA（自动切换或固定） | |
| 排气 | 网格通电加热方式，通电计时器3分钟 | |
| 切换滤镜 | 键盘及远程I/O操作 | |
| 丝材保护 | 13.3×100 Pa处关闭丝线 | |
| 标准配置 | 真空计本体（测量球及电缆不包含在内） | |
| 对应 | CE标志、RoHS | |
※1 测量范围请参阅测量球MG-2的说明。
※2 M-431HG附带的AC电缆为100V规格。如需使用200V，请另行咨询。