ANELVA佳能 真空计量规 M-351PG-SP
2026-09-01 16:28:01
admin
真空计量规
M-351PG-SP
CE标志RoHS
采用Ni丝，提高了耐腐蚀性，是兼容RIE、CVD等硬工艺设备的型号。
特点
特点
耐腐蚀性的提高
采用Ni丝等
复现性好且价格低廉
5×10-2 可测量从帕斯卡到大气压
用途
半导体、电子设备制造装置
干法刻蚀装置、等离子体CVD装置、LD-CVD装置等
食品・医药制造设备
真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等
规格
| 型号 | M-351PG-SP （Ni丝规格）（带设定值类型） |
|---|---|
| 测量压力范围 | 5×10-2 ～ 1×105 （Pa） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 |
| 可重复性 | ±2 ％ ： 1×10-1 ～ 1×104 Pa |
| 输入电压 | 直流+14 ～ 30 V |
| 能耗 | 2 W |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V |
| 档位识别电阻 | 13 KΩ（D-sub5-9引脚间） |
| 设定点 | 2接点输出（1 A 30 V,DC） |
| 接口 | － |
| 输入输出连接器 | D-sub9针 |
| 最大线缆长度 | 200 ｍ（0.34 mm2）兼容＊1 |
| 使用温度范围 | 5 ～ 60 ℃ |
| 保存温度范围 | -20 ～ 70 ℃（非工作时） |
| 烘烤温度 | ＜＋150 ℃（O型圈规格，仅限仪表头） ＜＋300 ℃（金属密封规格，仅限仪表头） |
| 允许过载压力 | 1 MPa（仅限NPT接头形状、仅限惰性气体、绝对压力） |
| 适合皮拉尼传感器型号 | MP-2 |
| 法兰形状 | NW16、NW25、1/8NPT |
| 传感器材质（主要部分） | Piranha线：镍 传感器管：不锈钢 引入端子绝缘部：钴玻璃+Al2O3涂层 |
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 |
＊1）连接M-601/603GC显示器时，仪表电缆的最大长度为100米。