ANELVA佳能 M-311HG-SP 离子计 M-311HG-RS
2026-09-01 16:29:36
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离子计（热阴极电离真空计）
M-311HG-SP
M-311HG-RS
CE 标志RoHS
这是Transducer真空计系列中的离子计。离子计（热阴极电离真空计）具有良好的重复性和线性度，能够进行宽范围的压力测量，作为真空计具有卓越的特性。传感器采用成熟的微型计（MG-2I型）设计。
特点
宽广的压力测量范围
10-7 从Pa到10 Pa，不牺牲超高真空侧的特性，可测量至超越溅射工艺的低真空区域
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出响应时间在100毫秒以内，确保了高响应性，也可用于过程压力控制
4种发射电流设置模式
可根据用途选择，例如在高温高压区域使用时可改善灯丝寿命等
用途
生产用真空装置的压力测量
半导体溅射装置的压力测量
各种真空装置
| 型号 | 离子计 | |
|---|---|---|
| M-311HG-SP | M-311HG-RS | |
| 压力测量范围 | 1×10-7 ～ 10 Pa | |
| 输入电压 | DC20 ～ 28 V | |
| 能耗 | 12 W | |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V | － |
| 设定点 | 2点继电器输出 | |
| 接口 | － | RS485 |
| 输入输出连接器 | Dsub-9（公头） | |
| 最大线缆长度 | 200 m（1 mm2） | |
| 使用温度范围 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存温度范围 | -20 ～ 70 ℃ | |
| 传感器型号 | 迷你B-A轨距（MG-2I系列） | |
| 传感器材质（主要部分） | 丝：Y2O3/Ir、外壳：SUS304 | |
| 外形尺寸（mm） | 110×70×50 | |
| 法兰形状 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 | |