ANELVA佳能 P-081C 制冷泵 P-080C
2026-09-01 16:41:29
admin
POWER/POWERECO系列制冷泵
P-080C
P-081C
P-081CL
P-082C
P-083C
P-100C
P-100CL
P-101C
P-101CL
P-120C
P-120CL
P-121C
P-121CL
P-122C
P-085C
P-086C
P-086CL
P-087C
P-105C
P-105CL
P-106C
P-106CL
P-107C
P-128C
P-128CL
P-160C
P-160CL
P-161C
P-161CL
P-206C
P-226C
POWER / POWERECO系列低温泵系统通过各种单元的组合，能够满足从研发设备到量产设备等广泛的应用需求。
POWER系列（标准系统）采用使用温度监测器的简单易用配置，与CRYONAVI控制器结合后可实现自动再生。
POWERECO系列（生态系统）通过独特的控制系统，通过降低能耗和延长维护周期来降低维护成本，从而为实现SDGs做出贡献。
【重要】
关于输出、转移和处置的注意事项
在将大口径低温泵出口至日本境外时，可能需要根据《外汇及对外贸易法》进行判定，因此请联系我司营业部门咨询。
此外，在进行国内转移或处置时，也需要进行同样的判定，并请将判定结果通知转移或处置方。
特点
POWER 系列
通过制冷机的自发热功能，实现无需加热器的安全高速再生。
在冷却时（20K以下），通过高速冷却运行，以高速运行制冷机，在短时间内完成冷却。
与传统产品相比，平均振动加速度低至原来的十分之一以下（与本公司产品相比）
POWERECO 系列
标准系统可实现8英寸5台、10英寸4台的多台同时运行。
有助于节能减排，可将能耗和冷却水量降低15～70％
再生・启动时间比以往缩短至一半以下（与本公司相比）
实际氩气排气量大幅提升1.5～4倍（与本公司产品相比）
用途
半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元件制造设备
真空蒸发装置
真空炉、空间腔
加速器
各种高真空装置
规格
POWER系列制冷泵性能规格
| 泵型号 | P-080C | P-081C | P-081CL | P-082C | P-083C | P-100C | P-100CL | P-101C | P-101CL | P-120C | P-120CL | P-121C | P-121CL | P-122C | 备注 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 口径 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 形状 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 排气速度（L/s） | 窒素 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氩 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,000 | 2,500 | 2,200 | 1,000 | 1,000 | 3,000 | 3,000 | 3,800 | 3,700 | 3,600 | 3,000 | 6,000 | 5,000 | 3,000 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 水 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最大排气流量（Pa･m3/s） | 1.5 | 1.2 | 1.2 | 1.5 | 1.5 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 氩 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最大气体瞬时许用量（Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 冷却时间（分钟） | 45 | 50 | 65 | 45 | 50 | 70 | 80 | 70 | 80 | 60 | 90 | 70 | 100 | 60 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 升温时间（分钟） | 30 | 30 | 30 | 30 | 35 | 35 | 40 | 35 | 45 | 35 | 40 | 40 | 50 | 35 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 再生时间（分钟） | 75 ＋α | 80 ＋α | 95 ＋α | 75 ＋α | 85 ＋α | 105 ＋α | 120 ＋α | 105 ＋α | 125 ＋α | 95 ＋α | 130 ＋α | 110 ＋α | 150 ＋α | 95 ＋α | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 排气容量 （Pa･m3） | 氩 | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 190,000 | 160,000 | 140,000 | 160,000 | 140,000 | 260,000 | 200,000 | 260,000 | 200,000 | 400,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 1,300 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 1,600 | 1,400 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达温度（K） | 15 以下 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达压力（Pa） | 10-7台 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最高加热温度（℃） | 70 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10 ～ 35 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 推荐维护时间（h） | 16,000 以内每 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 质量（kg） | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 27 | 25 | 27 | 29 | 30 | 29 | 30 | 30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 驾驶台数量（台） | E-77NL | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | ＊3 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
＊ 1）冷却时间（20K 以下）是高速冷却运行下的值，升温时间为在无吸附气体的情况下，仅使用吹扫气体引入+ 自发热功能时的数值。
再生时间中的“＋α”是指粗提等所需的时间。
＊ 2）排气容量是根据我们独特的评估方法得出的，是实际设备使用时对应的实用值。
＊ 3）取决于泵的入热负荷量。
※本规格值是泵单独时的数值。安装真空装置时的数值会受到安装环境气体释放和热负荷等因素的影响。
本规格可能因产品改良等原因在不另行通知的情况下进行变更。
小型POWERECO系列制冷泵性能规格
| 泵型号 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C | P-105C | P-105CL | P-106C | P-106CL | P-107C | 备注 | |||||||||||||||||||
| 口径 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | ||||||||||||||||||||
| 形状 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | ||||||||||||||||||||
| 排气速度（L/s） | 窒素 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,200 | |||||||||||||||||||
| 氩 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 1,600 | ||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,000 | 2,500 | 2,200 | 1,000 | 3,000 | 3,000 | 3,800 | 3,700 | 2,600 | ||||||||||||||||||||
| 水 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | ||||||||||||||||||||
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.2 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | アルゴン | |||||||||||||||||||
| 最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||||||||||||||||||||
| 冷却時間（分） | 60 | 65 | 80 | 60 | 75 | 90 | 85 | 100 | 120 | ＊1 | |||||||||||||||||||
| 昇温時間（分） | 40 | 40 | 45 | 40 | 45 | 50 | 45 | 50 | 50 | ||||||||||||||||||||
| 再生時間（分） | 100 ＋α | 105 ＋α | 125 ＋α | 100 ＋α | 120 ＋α | 140 ＋α | 130 ＋α | 150 ＋α | 170 ＋α | ||||||||||||||||||||
| 排気容量 （Pa･m3） | アルゴン | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 160,000 | 140,000 | 160,000 | 140,000 | 300,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||
| 水素 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 1,600 | ||||||||||||||||||||
| 到達温度（Ｋ） | 15 以下 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 到達圧力（Pa） | 10-7台 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 最大加熱温度（℃） | 70 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 環境温度範囲（℃） | 10 ～ 35 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 推奨メンテナンス時間（h） | 16,000 以内毎（エコシステムでは延長されます） | ||||||||||||||||||||||||||||
| 質量（kg） | 22 | 22 | 22 | 23 | 25 | 27 | 24 | 25 | 29 | ||||||||||||||||||||
| 運転台数（台） | E-77NL | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | ＊3 | ||||||||||||||||||
| CSW-61CN2 | 6 | 6 | 6 | 6 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | ||||||||||||||||||||
中型・大型POWERECOシリーズクライオポンプ性能仕様
| ポンプ型名 | P-128C | P-128CL | P-160C | P-160CL | P-161C | P-161CL | P-206C | P-226C | 備考 | |||||||||||||||||||||||
| 口 径 | 12 インチ | 12 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 20 インチ | 22 インチ | ||||||||||||||||||||||||
| 形 状 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 縦型 | ||||||||||||||||||||||||
| 排気速度（L/s） | 窒素 | 4,000 | 4,000 | 7,500 | 6,800 | 7,500 | 6,800 | 13,000 | 17,000 | |||||||||||||||||||||||
| アルゴン | 3,200 | 3,200 | 6,300 | 5,700 | 6,300 | 5,700 | 9,000 | 11,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 水素 | 6,000 | 5,000 | 5,500 | 5,000 | 11,000 | 10,000 | 17,000 | 23,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 水 | 9,800 | 9,800 | 19,000 | 19,000 | 19,000 | 19,000 | 30,000 | 39,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 2.2 | 2.2 | 2.2 | 2,2 | 2.0 | 2.2 | 3.0 | 2.7 | アルゴン | |||||||||||||||||||||||
| 最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） | 40 | 40 | 50 | 50 | 50 | 50 | 80 | 133 | ||||||||||||||||||||||||
| 冷却時間（分） | 110 | 115 | 70 | 95 | 90 | 120 | 100 | 120 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||
| 昇温時間（分） | 70 | 70 | 40 | 60 | 60 | 60 | 80 | 80 | ||||||||||||||||||||||||
| 再生時間（分） | 180 ＋α | 185 ＋α | 110 ＋α | 155 ＋α | 150 ＋α | 180 ＋α | 180 ＋α | 200 ＋α | ||||||||||||||||||||||||
| 排気容量 （Pa･m3） | アルゴン | 270,000 | 200,000 | 400,000 | 200,000 | 400,000 | 200,000 | 650,000 | 1,000,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||||||
| 氢 | 4,000 | 3,500 | 1,600 | 1,400 | 3,400 | 3,000 | 7,500 | 7,500 | ||||||||||||||||||||||||
| 到达温度（K） | 15 以下 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达压力（Pa） | 10-7台 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 最高加热温度（℃） | 70 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10 ～ 35 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 推荐维护时间（h） | 16,000 以内每（在生态系统中会延长） | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 质量（kg） | 37 | 39 | 50 | 62 | 50 | 62 | 67 | 87 | ||||||||||||||||||||||||
| 驾驶台数量（台） | E-77NL | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 1 | ＊3 | ||||||||||||||||||||||
| CSW-61CN2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 1 | ||||||||||||||||||||||||
＊ 1）冷却时间（20K 以下）是高速冷却运行下的值，升温时间为无吸附气体状态下引入吹扫气体 + 使用自发热功能时的数值。再生时间中的“+α”是指粗吸附等所需的时间。
＊ 2）排气容量是根据我司独有的评估方法得出的，是实际设备使用时的实用数值。
＊ 3）取决于泵的入热负荷量。
※本规格值仅为泵单独运行时的数值。安装在真空装置上的数值会受到安装环境气体释放、热负荷等因素的影响。
本规格可能因产品改进等原因在不另行通知的情况下进行更改。
【重要】
关于输出、转移和处置的注意事项
在将大口径低温泵出口至日本境外时，可能需要根据《外汇及对外贸易法》进行判定，请联系我司营业部门。此外，在进行国内转移或处置时，也请留意转移或处置的目的地。