ANELVA佳能 气体监测仪 M-080QA-HPM
2026-09-01 16:38:33
admin
四重极型质谱仪工艺气体监测仪
M-080QA-HPM
M-080QA-HPM是一款可在10-9 Pa至2 Pa宽广范围内运行的四极杆质谱仪。 凭借其独特的技术，该设备能够使用同一仪器测量超高真空和溅射过程中的压力范围。 由于能够监测成膜过程中的气体，因此可以检测出气体异常、泄漏等故障，从而在未发生产品缺陷之前预防由工艺异常引起的缺陷。
特点
从腔室到达压力到溅射工艺压力，实现无缝测量
在成膜过程中能够高灵敏度地检测到氢气
维护周期长，运行成本低
通过各种警报功能检测生产过程中的异常
用途
成膜过程中的质量管理
残留气体分析
泄漏检查
规格
| 机型名称 | M-080QA-HPM | ||
|---|---|---|---|
| 基本性能 | 测量质量数范围 | 1～80 m/z | |
| 动作压力 | 2 Pa以下 | ||
| 最小检测浓度 | 5 ppm（H2を除く）、H2：100 ppm以下 | ||
| 感度 （N2） | FC | 7.5×10-9 A/Pa以上 | |
| SEM | 7.5×10-5 A/Pa以上 | ||
| 分解能 | ＜ 1 amu @10 % of peak heigt | ||
| 规格 | 丝状物 | 意大利コート伊里듐1根 | |
| 烘烤温度 | 250 ℃（仅限分析管） | ||
| 连接法兰 | φ70ICF | ||
| 定格输入电压 | AC100 V～AC240 V | ||
| 质量 | 分析管 | 1.1 kg | |
| 控制器 | 2.2 kg | ||
| 通信接口 | RS-232C/485 | ||
| 控制软件 | QUADVISION3 兼容 Windows 7、8.1、10、11 | ||