特点 体积小，但排气速度大。 结构紧凑，适合设备集成。 磁力耦合结构消除了轴封漏油，确保使用寿命长。 进气管正下方装有防倒流阀，停机时泵内部自动向大气开放。 电源线入口支持各种电源线。 强制润滑机构可确保稳定的泵送速度。 可在大气压力下运行。用途。 用于物理和化学实验、分析设备和激光应用设备。 真空泵设备、电子显微镜背板。 半导体制造设备
2023-12-06 admin
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。特点通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。用途半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。真空热处理炉真空排气系统
2023-12-05 admin
