日本 爱发科ULVAC 螺杆型干泵MS系列 MS120A, MS600A, MS1200A

MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。特点通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。用途半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。真空热处理炉真空排气系统

2023-12-05 admin